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  • ALD / CVD前驅體系列產品

    高純ALD/CVD前驅體產品是整個電子工業體系的核心源材料之一,其被廣泛應用于電腦芯片、太陽能電池、移動通訊等電子器件制造的諸多方面,在新型太陽能電池、電子產品等領域發揮著巨大作用。

    六氯乙硅烷

    Cl6Si2

    ≥99.999995%

    四乙氧基硅烷

    C8H20O4Si

    ≥99.9999999%

    八甲基環四硅氧烷

    C8H24O4Si4

    ≥99.999999%

    四甲基硅烷

    C4H12Si

    ≥99.99999%

    硼酸三乙酯

    C6H15BO3

    ≥99.9999999%

    磷酸三乙酯

    C6H15O4P

    ≥99.9999999%

    四(二甲胺基)鈦

    C8H24N4Ti

    ≥99.9999%

    四氯化鈦

    Cl4Ti

    ≥99.99999%

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